用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有 危险,另- -方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产:大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。
氦气
氦气的化学性质相对来说比较稳定。不易发生反应、等,操作过程安全。在一些比较值钱的设备:例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用氦气检漏。氦气稳定。当然也可用氢气检漏,但是氢气,容易引发事故,用氢气检测严禁吸烟,远离烟火。但用氦气检漏成本较贵,单瓶1000元左右。
氦气穿透能力强,且易,对漏点有很好的检出能力,可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部,氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞,灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。
氦质谱检漏仪
钟罩法
将氦质谱检漏仪与试件用真空橡皮管连接,在试件上用密闭的容器罩住,在容器里充入氦气,检漏仪开始检漏,如果试件有漏点,仪器就可以显示其漏率;这种方法可以测量液体储料罐的漏率,在罐体外罩氦罩采用塑料薄膜,对罐体进行粗抽和预抽,在用标准漏孔校对检漏仪,对氦罩进行充氦,就可以测出罐体的漏率
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